空气弹簧减振器技术领域的关键技术

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技术领域

本产品归属于高精密减振技术领域，关键涉及到一种共面汽浮正交和解耦和软性膜角解耦的磁悬零弯曲刚度弹簧减振器。

环境技术性

[0002]伴随着超精密机械加工和测量精度的不断提升，自然环境震动早已成为了牵制超精密机械加工专用设备和检测仪器精密度和特性提升的主要要素。尤其是以步进电机扫描仪光刻技术为象征的集成电路工艺电子器件生产设备，技术性抗压强度和复杂性极高，空气弹簧重要性能指标做到了原有工艺的極限，意味着了超精密机械加工的较高水准机器设备。空气弹簧高精密减振已变成此类机器设备的关键核心技术；步进电机扫描仪光刻技术线距已做到22nm及下列，圆晶精度等级和叠合精密度做到数纳米技术，产品工件台健身运动速率做到lm/s以上，产品工件台瞬时速度做到重力加速度的几十倍，对原有的空气弹簧震动明确提出了新的挑戰隔离技术。最先，光刻技术必须为计量检定系统软件和光刻技术测微目镜给予“超静音模式”的办公环境，与此同时还必须推动产品工件操作台快速、高瞬时速度挪动，这对空气弹簧减振系统软件的减振特性明确提出了极为严苛的规定。三个方位的共振频率都必须在1Hz下列；次之，光刻技术各组件间的相对位置，如光刻技术测微目镜与单晶硅片表层的间距，都是有十分严谨的规定，处在关闭的部位环中。在意见反馈自动控制系统的操纵下，规定弹簧减振器左右安裝板中间的相对位置精密度做到10μm数量级，而传统化的弹簧减振器精度等级远远地不可以符合要求。