半导体精密微光刻机减震器液压缸推力不足是什
半导体精密微光刻机减震器液压缸推力不足是什么原因?
漏油原因:液压缸与活塞杆中间因损坏而间隙太大。假如活塞杆配有密封圈,会因为密封圈损坏或衰老而丧失封口作用。
对策:拆换活塞杆或密封圈,保持间隙。
假如只经常应用气缸某一位置,部分损坏比较严重,间隙扩大,气缸泄露。这时,可以再次研磨缸孔并重新部署活塞杆。
气缸内部构造不一样,姿势摩擦阻力太大,使气缸速度随日程安排位置而转变。
大兰液压油缸
发生这种情况的原因:听说是组装品质不行导致的。(液压缸密封性过紧,液压缸过长,造成滚动位置工作压力太大)或废弃物进入气缸滚动位置(特别是颗粒废弃物)。
假如调速阀进入脏物,阀心处于开与关状况减震器液压缸压差,液压油全自动流进机油箱,液压油缸内并没有液压油注入。假如负载太大,虽然调速阀的调整工作压力已实现较大额定值,但液压缸仍不可以获得不断姿势所需的力,液压缸不动。假如调节工作压力低,没法做到负载所需的驱动力,则为工作压力不够,驱动力不够。这类问题都产生在闸阀上减震器液压缸压差,因此应当检查闸阀。
半导体精密微光刻机减震器液压缸推力不足是什么原因?
1.气缸里有大气或油泵提供的油不够,会让气缸姿势不稳定(或慢)。
排除主缸气体或检查油泵。
2.也有一种情况是压力表上表明的气缸压力充足了,但是气缸或是推不动。
发生这种情况的原因:一般是减震器活塞杆侧面与缸盖触碰紧密,工作压力油不能加入或合理工作上总面积太小,没法产生充足的驱动力使气缸运动。