SSB260/20T型投射光刻机被动式空气弹簧超出大部分其他方式的减振器
 

不论是工业生产亦或是我们的生活，全部活动机器都会因遭受推动力而振动。振动会输送到机器的支撑架并且通过支撑架输送到机器自身及其机器的配件上。振动会导致全部受此影响一个物体疲倦。与此同时，振动也使得噪音大大的提高，尤其是在恩恩怨怨路面安装振动机械设备,如装到楼房里的设备。而SSB260/20T型投射光刻机被动式空气弹簧超出大部分其他方式的减振器，能降低99百分比的振动疲倦。

 

被动式空气弹簧一般由制动气室、橡胶弹性隔膜和承重板构成。它是一个具有内部构造的密封容器。使用气体可以改变抗震目的。被动式空气弹簧的共振频率相对较低(2).6~5.3Hz)，阻尼系数(0)相对较高.06~0.08)可以获得较高的抗震效率。投射光刻机被动式空气弹簧具有刚度变动的特点，因此在地震设备设计中不需要考虑机械设备的重点。承载力大，自身总重较轻。与其它减振器对比，投射光刻机被动式空气弹簧具有品质小、舒适感好、耐疲倦、经久耐用等特点，它并具有减震和消音作用。这使得其可广泛运用与许多环境里并充分发挥主导作用。